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中文版 / ENGLISH

半導體設備配件行業整理

發布時間:2023-05-10
很多人都不太清楚半導體設備配件、模組的分類,每個半導體設備配件分類國產化的情況和難度的排序,下面就讓小編來給大家介紹一下。

很多人都不太清楚半導體設備配件、模組的分類,每個半導體設備配件分類國產化的情況和難度的排序,下面就讓小編來給大家介紹一下。

半導體設備配件分類:

模組件:分為EFEM(傳送模塊)、傳送腔體、反應腔體,還有部署設備(氣柜、電柜)、清洗組件、冷卻組件(CM)。

零部件:

1)金屬件:一般包括鋁錠(純鋁,用作腔體)、不銹鋼(用作骨架)、鋁合金為原料制作的產品,目前國產化率較多。

2)非金屬件:陶瓷件、石英件、石墨。

3)氣柜:主要用世偉洛克的產品;其中的氣體管路等配件主要用的SMC、VAT的產品。氣柜產品有的是廠家自己制作的,有的是委托下游廠商制作的,例如富士金、VAT、UCT。

4)儀表類:主要是流量計,目前主要用SMC和日本津市的多一些。

5)射頻電源:主要用的MKS產品。

6)閥門:主要用的VATSMC,VAT的產品是用的較多的,國內也是用這兩家多一些。但是應材的產品是自己定制的,不采用現有的模塊。

7)泵:常用的就是德國普旭和愛德華,愛德華用的是較多的。

8)管路連接:與氣柜連接的管路主要是四家的產品,MKS、VAT、UCT、富士金。

國產化進度:目前不論是國內還是國外設備廠商都是用的上面這些廠商的產品,很少用國內沒有認證的零部件產品。除了金屬加工件這種常見的產品外,其他的氣體管路、氣柜、儀表、電源、閥門、泵之類的,都是用的國際大品牌。

半導體設備配件加工的難易程度:

1)非金屬類產品加工是難度最大的,交期可能8~10個月。例如石英件、陶瓷件的加工等,可能都是以國外為主。國內的大和熱磁,目前是國內用的最多的。

2)其次是配置類,基本上都是被國外所壟斷,包括精度高一點的各種流量計,這些東西是被國外壟斷的,交期也非常長,有時還涉及到一些政治因素。

3)第三是氣柜模組部分。

4)最后是金屬加工的部分。

丹東正芯微電子科技有限公司可生產Varian、Eaton、Applied Materials、Nisson等品牌的各型號注入機配件,我公司還生產加工上千種電子設備零備件,如擴散爐、刻蝕機、CVD、背銀機、減速機、機械泵等,圖片未列產品或有特殊需要,詳情電話咨詢(0415-3196990 )或郵箱聯系(zsunsale@163.com)。


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