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中文版 / ENGLISH

注入機離子源燈絲是干嘛用的?

發布時間:2023-05-17
注入機離子源燈絲也就是用于離子注入機的鎢絲。離子注入機是VLSI制造工藝的關鍵設備,其運行情況直接影響到IC工藝線的效率。離子注入機的故障率較高,且大部分集中在離子源系統。

入機離子源燈絲也就是用于離子注入機的鎢絲。


離子注入機是VLSI制造工藝的關鍵設備,其運行情況直接影響到IC工藝線的效率。離子注入機的故障率較高,且大部分集中在離子源系統。離子源弧室內燈絲絕緣子在饋入工藝氣體電離后的等離子體、聚合物及濺射產物等環境中,其表面容易沉積一層電離產物和濺射金屬粒子混合覆蓋物,若其結構不合理,在較短的時間內,就會降低陽極電極間的絕緣性,乃至短路。拆修后,注入機離子源燈絲基本上報廢,使用率低,致使整臺設備常常處于維修狀態。所以,離子源的絕緣對注入機相當重要。


離子源作為注入機的束流源,其工作的穩定性在很大程度上決定著引出離子束流的品質。通過合理設計離子源內絕緣子的結構,提高了防濺射粒子沉積物沾污的能力。陽極電源和注入機離子源燈絲電源的工作效率隨工藝時間的增加而降低的情況得到了改善。增強了離子源的電離穩定性,系統的重復性較好,維修次數也明顯減少。


丹東正芯微電子科技有限公司是一家專業生產、加工各種注入機離子源燈絲的高新民營企業。主營注入機、濺射臺、蒸發臺等半導體設備核心配件及相關系列配件。我公司還生產加工上千種電子設備零備件,如擴散爐、刻蝕機、CVD、背銀機、減速機、機械泵等,圖片未列產品或有特殊需要,詳情電話咨詢(0415-3196990 )或郵箱聯系(zsunsale@163.com)。


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