久久久久久精品国产电影|亚洲AV永久无码精品男同|国产欧美日韩精品网红剧情演绎|国产第一页久久精品丝袜不卡|

<ruby id="ldjzb"></ruby>
<span id="ldjzb"><noframes id="ldjzb">
<progress id="ldjzb"></progress>
<span id="ldjzb"><video id="ldjzb"><strike id="ldjzb"></strike></video></span>
<span id="ldjzb"><noframes id="ldjzb">
<span id="ldjzb"><noframes id="ldjzb"><th id="ldjzb"><noframes id="ldjzb"><span id="ldjzb"></span>
<th id="ldjzb"></th>
<span id="ldjzb"><noframes id="ldjzb">
<strike id="ldjzb"><video id="ldjzb"><ruby id="ldjzb"></ruby></video></strike>
<span id="ldjzb"></span>
<th id="ldjzb"><noframes id="ldjzb">
<th id="ldjzb"><noframes id="ldjzb">
<th id="ldjzb"></th>
<th id="ldjzb"></th><th id="ldjzb"><noframes id="ldjzb"><th id="ldjzb"></th>
<th id="ldjzb"></th>
<span id="ldjzb"></span>
<span id="ldjzb"></span>
<span id="ldjzb"><video id="ldjzb"><span id="ldjzb"></span></video></span><span id="ldjzb"></span>
<span id="ldjzb"><video id="ldjzb"></video></span><span id="ldjzb"></span>
<th id="ldjzb"></th>

中文版 / ENGLISH

蒸發臺配件之行星盤

發布時間:2023-05-17
蒸發臺配件中行星盤占了很大的比重。金屬化是半導體芯片制造過程中在絕緣介質薄膜上沉積金屬薄膜以及隨后刻印圖形以便形成金屬互連金屬線和集成電路的孔填充塞的過程,半導體制造設備電子束蒸發臺是將待蒸發的材料放置進坩堝,在真空系統中用電子束加熱并使其蒸發,撞擊到硅片表面凝結形成金屬薄膜。

蒸發臺配件中行星盤占了很大的比重。金屬化是半導體芯片制造過程中在絕緣介質薄膜上沉積金屬薄膜以及隨后刻印圖形以便形成金屬互連金屬線和集成電路的孔填充塞的過程,半導體制造設備電子束蒸發臺是將待蒸發的材料放置進坩堝,在真空系統中用電子束加熱并使其蒸發,撞擊到硅片表面凝結形成金屬薄膜。


現有技術中影響電子束蒸發臺工藝穩定的因素主要有兩個面:電子槍的功率,載片行星鍍鍋的角度和轉速等,行星鍍鍋是安裝在行星架上然后進行自轉,行星架的穩定運行直接決定了設備的工藝參數,而現有技術中的行星架的旋轉是通過驅動電機的旋轉來帶動的,驅動電機在旋轉的時候具有一定的震動此種震動本身就影響電子束蒸發臺行星架旋轉的穩定性,其次電子束蒸發臺行星架的旋轉盤在環形軌道上運行時間久了結構強度減弱變形也是導致不穩定的因素,另外在旋轉盤的調節上過于復雜化,調節不夠便捷而且容易震動為此涉及一種電子束蒸發臺行星架及其使用方法來解決上述問題。


丹東正芯微電子科技有限公司是一家專業生產、加工各種蒸發臺配件的高新民營企業。主營注入機、濺射臺、蒸發臺等半導體設備核心配件及相關系列配件。我公司還生產加工上千種電子設備零備件,如擴散爐、刻蝕機、CVD、背銀機、減速機、機械泵等,圖片未列產品或有特殊需要,詳情電話咨詢(0415-3196990 )或郵箱聯系(zsunsale@163.com)。



<ruby id="ldjzb"></ruby>
<span id="ldjzb"><noframes id="ldjzb">
<progress id="ldjzb"></progress>
<span id="ldjzb"><video id="ldjzb"><strike id="ldjzb"></strike></video></span>
<span id="ldjzb"><noframes id="ldjzb">
<span id="ldjzb"><noframes id="ldjzb"><th id="ldjzb"><noframes id="ldjzb"><span id="ldjzb"></span>
<th id="ldjzb"></th>
<span id="ldjzb"><noframes id="ldjzb">
<strike id="ldjzb"><video id="ldjzb"><ruby id="ldjzb"></ruby></video></strike>
<span id="ldjzb"></span>
<th id="ldjzb"><noframes id="ldjzb">
<th id="ldjzb"><noframes id="ldjzb">
<th id="ldjzb"></th>
<th id="ldjzb"></th><th id="ldjzb"><noframes id="ldjzb"><th id="ldjzb"></th>
<th id="ldjzb"></th>
<span id="ldjzb"></span>
<span id="ldjzb"></span>
<span id="ldjzb"><video id="ldjzb"><span id="ldjzb"></span></video></span><span id="ldjzb"></span>
<span id="ldjzb"><video id="ldjzb"></video></span><span id="ldjzb"></span>
<th id="ldjzb"></th>