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中文版 / ENGLISH

離子源配件之離子源弧光室

發布時間:2023-05-26
離子源弧光室是離子注入機離子源的重要組件。離子注入是現代集成電路制造中的一種非常重要的技術,其利用離子注入機實現半導體的摻雜,即使用鎢絲作為陰極發射電子轟擊含有特定的雜質元素的氣體分子...

子源弧光室是離子注入機離子源的重要組件。離子注入是現代集成電路制造中的一種非常重要的技術,其利用離子注入機實現半導體的摻雜,即使用鎢絲作為陰極發射電子轟擊含有特定的雜質元素的氣體分子,產生電離的特定雜質原子經靜電場加速后打到硅單晶圓片表面,并打入半導體內部,改變導電特性并*終形成晶體管結構。


由于在離子源發生的電子轉換為電漿離子時,會產生2000℃以上的工作溫度,離子束噴發時,也會產生很大的離子動能,一般金屬會很快燒熔,因此需要質量密度較大的惰性金屬,以維持離子束噴發方向,并增加組件耐用度,鎢鉬是必選材料。由于鎢鉬材料高溫化學性質穩定、熱變形小和使用壽命長等優點,因此半導體行業離子源弧光室零組件及耗件多采用鎢、鉬材料制造,這些器件包括發射電子陰極的屏蔽筒、發射面板、中心固定桿、起弧室內的絲極板等,我們統稱為離子注入用鎢零件和離子注入用鉬零件。


丹東正芯微電子科技有限公司可按用戶要求加工各種離子源弧光室,我公司加工制作的離子注入用鎢零件具有密度高,純度高,尺寸精度好的特點。還生產加工上千種電子設備零備件,如擴散爐、刻蝕機、CVD、背銀機、減速機、機械泵等,圖片未列產品或有特殊需要,詳情電話咨詢(0415-3196990 )或郵箱聯系(zsunsale@163.com)。

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