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中文版 / ENGLISH

蒸發臺配件之蒸發臺行星鍋

發布時間:2023-05-26
蒸發臺行星鍋做為電子束蒸發臺的重要配件之一,隨著電力電子技術的高速發展,半導體的應用場景越來的越廣闊,而在半導體的制備過程中,為了提高半導體的性能經常需要在基片的背面沉積大面積的金屬膜。

發臺行星鍋做為電子束蒸發臺的重要配件之一,隨著電力電子技術的高速發展,半導體的應用場景越來的越廣闊,而在半導體的制備過程中,為了提高半導體的性能經常需要在基片的背面沉積大面積的金屬膜。


現在,通常利用電子束蒸發臺來完成對基片的鍍膜工藝。具體的,將待蒸發的鍍膜材料放置進坩堝,在真空系統中,利用電子束對鍍膜材料進行加熱,以使鍍膜材料蒸發,鍍膜材料蒸發后的分子撞擊到基片表面凝結并形成金屬薄膜。在這個制備過程中,基片通常被固定在一個蒸發臺行星盤結構上,通過旋轉行星盤結構,可以使基片的各個角度的金屬薄膜厚度均勻。


丹東正芯微電子科技有限公司可按用戶要求加工各種蒸發臺行星盤,還生產加工上千種電子設備零備件,如擴散爐、刻蝕機、CVD、背銀機、減速機、機械泵等,圖片未列產品或有特殊需要,詳情電話咨詢(0415-3196990 )或郵箱聯系(zsunsale@163.com)。


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