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中文版 / ENGLISH

蒸發臺配件-電子槍的工作原理

發布時間:2023-07-08
蒸發臺配件-電子槍是生產電子束的部件,由直線狀螺旋鎢陰極、柵極和陽極組成。加速電壓采用負高壓,陰極和柵極處于相同的負電位,陽極接地電位。陰極由交流供電加熱,使之發射電子,電子受柵極電位的影響,在陽極電壓加速下形成會聚的電子束。

發臺-電子槍是生產電子束的部件,由直線狀螺旋鎢陰極、柵極和陽極組成。加速電壓采用負高壓,陰極和柵極處于相同的負電位,陽極接地電位。陰極由交流供電加熱,使之發射電子,電子受柵極電位的影響,在陽極電壓加速下形成會聚的電子束。在X方向磁場的作用下,電子束得到進一步聚集并偏轉射入裝有被鍍膜料的坩堝中,其動能變成熱能使材料蒸發沉積于基片上,達到所需膜層的要求。

蒸發臺配件-電子槍在蒸鍍時,由于電子束中的電子與氣體分子和蒸發材料的蒸汽發生碰撞產生的離子轟擊帶負電高壓電極及其引線,即產生打火。電子束蒸鍍設備的高壓電源都附有高壓復位裝置,在打火時自動切斷高壓,然后又自動恢復,切斷與恢復的時間越短,越不會影響蒸鍍工藝。

蒸發臺配件生產廠家-丹東正芯微電子科技有限公司可按用戶要求加工各種半導體設備配件,還生產加工上千種電子設備零備件,如擴散爐、刻蝕機、CVD、背銀機、減速機、機械泵等,圖片未列產品或有特殊需要,詳情電話咨詢(0415-3196990 )或郵箱聯系(zsunsale@163.com)。

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