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中文版 / ENGLISH

離子源及離子源弧光室的應用介紹

發布時間:2023-07-25
從20世紀60年代開始,人們將一定量的硼、磷或其他元素的離子注入到半導體材料中,形成摻雜。摻雜的深度可用改變離子的能量來控制;摻雜的濃度可通過積分離子流強度來控制。

20世紀60年代開始,人們將一定量的硼、磷或其他元素的離子注入到半導體材料中,形成摻雜。摻雜的深度可用改變離子的能量來控制;摻雜的濃度可通過積分離子流強度來控制。離子注入方法的重復性、可靠性比擴散法好。離子注入摻雜在半導體大規模集成電路的生產中已成為重要環節,用離子注入法取代舊的擴散等工藝在有些器件中已成為必然趨勢。

離子注入在金屬材料的改性中獲得的結果十分引人注目。在常用金屬的離子注入改性中,可以提高金屬的硬度、抗腐蝕性能和抗疲勞強度,降低金屬的磨損率。某些絕緣材料如陶器、玻璃、有機材料經離子束照射以后,性質發生重要的變化,獲得新的用途。

離子源配件:離子源弧光室、離子源燈絲、坩堝

離子源弧光室生產廠家-丹東正芯微電子科技有限公司可按用戶要求加工各種半導體設備配件,還生產加工上千種電子設備零備件,如離子源弧光室、擴散爐、刻蝕機、CVD、背銀機、減速機、機械泵等,圖片未列產品或有特殊需要,詳情電話咨詢(0415-3196990 )或郵箱聯系(zsunsale@163.com)。

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