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中文版 / ENGLISH

離子源弧光室的應用領域有哪些?

發布時間:2024-03-12
離子源弧光室是離子注入設備的一部分,主要作用是將充入弧光室的惰性氣體經輝光放電電離成等離子體,經離子光學系統引出帶正電的離子束,再經過下游端的中和陰極向離子束發射與束電流等量的電子流進行電荷中和,最終生成高能高速的中性離子束。

離子源弧光室是離子注入設備的一部分,主要作用是將充入弧光室的惰性氣體經輝光放電電離成等離子體,經離子光學系統引出帶正電的離子束,再經過下游端的中和陰極向離子束發射與束電流等量的電子流進行電荷中和,最終生成高能高速的中性離子束。離子源弧光室其應用領域包括:

半導體:可用于注入半導體器件的單元溝道離子,以生產晶體傳感器。

材料科學:可用于材料表面改性,如清洗、氮化和鍍膜等。

高能物理:可用于離子加速器,以轟擊靶材并產生新物質或揭示新的物理規律。

在半導體行業中,離子源弧光室主要用于離子注入工藝。

離子注入是一種重要的半導體摻雜技術,它可以將特定的雜質離子引入半導體材料中,從而改變半導體的電學性能。在離子注入過程中,離子源弧光室產生的離子束會被加速到很高的速度,并注入到半導體晶片中。

通過控制離子束的能量和劑量,可以精確地控制雜質離子在半導體中的分布和濃度,從而實現對半導體器件性能的調控。例如,在制造晶體管時,可以通過離子注入來形成 p-n 結,從而控制晶體管的導通和截止。

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